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      懸臂接觸式RF MEMS開關的設計

      時間:2024-05-07 04:45:38 通信工程畢業論文 我要投稿
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      懸臂接觸式RF MEMS開關的設計

      全部作者: 張義愷 第1作者單位: 北京郵電大學自動化學院 論文摘要: 本文研究的金屬接觸型RF MEMS開關由懸臂梁,驅動電極,金屬觸點等部分構成;谖⒉ā⒉牧虾蜋C械設計因素的考慮,本次設計選取了氮化硅作為懸臂梁的材料,以保證有材料具有良好的機械特性和化學穩定性。并選擇金作為接觸金屬,是由于金在穩定性和導電性方面的優勢。懸臂梁為PECVD制作的氮化硅薄膜,聚酰亞胺作為犧牲層,運用等離子體刻蝕法釋放犧牲層。研究了懸梁、電極的制作工藝,并分析了犧牲層的制作和刻蝕工藝對開關結構的影響,并對開關進行失效分析。 關鍵詞: 微機電系統,射頻開關,值電壓,失效 (瀏覽全文) 發表日期: 2007年07月23日 同行評議:

      作者應當通過實驗來驗證其設計的正確性,可是其并未做實驗,沒有在實驗中修正其設計,理論分析不準確. 

      綜合評價: 修改稿: 注:同行評議是由特聘的同行專家給出的評審意見,綜合評價是綜合專家對論文各要素的評議得出的數值,以1至5顆星顯示。

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